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 Scratch behavior and FEM modelling of Cu/Si(100) thin films deposited by modulated pulsed power magnetron sputtering 调制脉冲磁控溅射Cu/Si（100）薄膜的划痕行为及有限元模拟
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期刊：Surface & Coatings Technology 作者：D. Meng; Y.G. Li; Z.T. Jiang; M.K. Lei 出版日期：2019-04-01 |
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