单晶碳化硅晶片高效超精密抛光工艺

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文献求助详情

标题	单晶碳化硅晶片高效超精密抛光工艺
网址	http://hit.alljournals.cn/html/hitxb_cn/2019/1/20190116.html
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
求助人	chyyyyy 在 2023-09-12 14:34:41 发布自吉林，悬赏 10 积分
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1年前，求助关闭

chyyyyy 求助人 Lv4 关闭了本次求助。

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