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 Consumable Approaches of Polysilicon MEMS CMP 多晶硅MEMS CMP的消耗途径
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期刊：Transactions on Electrical and Electronic Materials 作者：Sung Min Park; Sukhoon Jeong; Moon-Ki Jeong; Boum-Young Park; Haedo Jeong; et al 出版日期：2006-08-01 |
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