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标题
[高分] Application of imaging ellipsometry and white light interference microscopy for detection of defects in epitaxially grown 4H–SiC layers
成像椭偏和白光干涉显微镜在外延生长4H-SiC层缺陷检测中的应用
相关领域
材料科学 薄脆饼 椭圆偏振法 光电子学 计量学 外延 显微镜 光学 干扰（通信） 半导体 白光 光学显微镜 薄膜 纳米技术 扫描电子显微镜 计算机科学 复合材料 图层（电子） 计算机网络 频道（广播） 物理
网址
https://jeos.edpsciences.org/articles/jeos/pdf/forth/jeos202...
AI链接 edpsciences.org edpsciences.org edpsciences.orgdoi.org
DOI
10.1051/jeos/2023018 doi
其它 期刊：Journal of the European Optical Society Rapid Publications
作者：Elena Ermilova; Matthias Weise; Andreas Hertwig
出版日期：2023-01-01
求助人
小惊麟 在 2025-01-12 23:43:23 发布自浙江，悬赏 50 积分
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  • 3小时前

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