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 Static and dynamic contact angles of water on photoresist 水在光刻胶上的静态和动态接触角
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena 作者：Holly B. Burnett; Timothy A. Shedd; Gregory Nellis; Chris Van Peski 出版日期：2005-11-01 |
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