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 Thermal conductivity of micromachined low-stress silicon-nitride beams from 77 to 325 K 77~325 K微加工低应力氮化硅梁的热导率
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：Rubina Sultan; Azure D. Avery; Greg Stiehl; Barry Zink 出版日期：2009-02-15 |
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