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 Oxygen annealing induced crystallization and cracking of pulsed laser deposited Ga2O3 films 脉冲激光沉积Ga2O3薄膜的氧退火诱导结晶与开裂
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期刊：Vacuum 作者：Chen Wang; Shiwei Li; Yuchao Zhang; W.L. Fan; Haijun Lin; et al 出版日期：2022-08-01 |
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