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标题
Effects of annealing temperature on characteristics of amorphous nickel carbon thin film alloys deposited on n-type silicon substrates by reactive sputtering
退火温度对n型硅衬底上反应溅射沉积非晶态镍碳薄膜特性的影响
相关领域
薄膜 材料科学 溅射 等离子体增强化学气相沉积 退火(玻璃) 碳膜 无定形固体 非晶硅 分析化学(期刊) 无定形碳 溅射沉积 薄脆饼 冶金 光电子学 纳米技术 晶体硅 化学 结晶学 色谱法
网址
DOI
10.1016/j.tsf.2016.04.032 doi
其它 期刊:Thin Solid Films
作者:Zih-Chen Hong; Sham‐Tsong Shiue
出版日期:2016-04-30
求助人
追寻的觅云 在 2025-01-03 20:27:15 发布自湖北,悬赏 10 积分
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