标题 |
In situ study of stress evolution during the reaction of a nickel film with a silicon substrate
镍膜与硅衬底反应过程中应力演化的原位研究
相关领域
硅
材料科学
薄脆饼
硅化物
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镍
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期刊:Microelectronic Engineering 作者:Christian Rivero; P. Gergaud; Ο. Thomas; B. Froment; H. Jaouen 出版日期:2004-08-10 |
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