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 Nanofabrication via Maskless Localized Atomic Layer Deposition of Patterned Nanoscale Metal Oxide Films 通过无掩模局部原子层沉积图案化纳米金属氧化物薄膜的纳米制造
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期刊：ACS Applied Nano Materials 作者：Laabdia Midani; Waël Ben-Yahia; Vincent Salles; Catherine Marichy 出版日期：2021-10-18 |
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