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标题
Homoepitaxial growth of 1ˉ02 β-Ga2O3 by halide vapor phase epitaxy
卤化物气相外延法同向外延生长1′02 β-Ga2O3
相关领域
外延 基质(水族馆) 材料科学 相(物质) 蚀刻(微加工) 卤化物 分析化学(期刊) 透射电子显微镜 化学 纳米技术 图层(电子) 地质学 色谱法 海洋学 有机化学 无机化学
网址
DOI
10.1088/1361-6641/acf241 doi
其它 期刊:Semiconductor Science and Technology
作者:Yuki Oshima; Takayoshi Oshima
出版日期:2023-08-31
求助人
清爽的梦菡 在 2024-09-27 20:05:03 发布自浙江,悬赏 10 积分
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