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标题
Control of Galvanic Corrosion Behavior Between Tungsten and Titanium Nitride in CMP Application
CMP应用中钨与氮化钛电偶腐蚀行为的控制
相关领域
材料科学 电偶腐蚀 腐蚀 化学机械平面化 氮化钛 锡 原电池 介电谱 线性扫描伏安法 冶金 钛 点蚀 钨 电化学 氮化物 循环伏安法 复合材料 抛光 电极 化学 图层（电子） 物理化学
网址
https://doi.org/10.1149/ma2016-02/9/1112
DOI
10.1149/ma2016-02/9/1112 doi
其它 期刊：Meeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society. CD-ROM)
作者：Kangchun Lee; Jihoon Seo; Jinok Moon; Yeon‐Gil Jung; Ungyu Paik
出版日期：2016-09-01
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辛勤南琴 在 2024-11-19 09:57:43 发布自陕西，悬赏 10 积分
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