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 Effect of focus ring with external circuit on cathode edge sheath dynamics in a capacitively coupled plasma 带外部电路的聚焦环对电容耦合等离子体中阴极边缘鞘层动力学的影响
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Yi-Jin Xiao; Joel Brandon; Josh Morsell; Sang Ki Nam; Kwang-Hak Bae; et al 出版日期：2023-04-20 |
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