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标题
Mechanical effect of abrasives on silicon surface in chemo-mechanical grinding
化学机械研磨中研磨剂对硅表面的机械效应
相关领域
硅 材料科学 薄脆饼 研磨 钻石 压力（语言学） 冶金 复合材料 纳米技术 语言学 哲学
网址
https://doi.org/10.1016/j.ijmecsci.2023.108544
DOI
10.1016/j.ijmecsci.2023.108544 doi
其它 期刊：International Journal of Mechanical Sciences
作者：Yu Zhang; Renke Kang; Jiawei Ren; Hongye Lang; Shang Gao
出版日期：2023-06-10
求助人
haha9 在 2024-12-18 19:26:01 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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