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 Development of GeSn epitaxial films with strong direct bandgap luminescence in the mid-wave infrared region using a commercial chemical vapor deposition reactor 用商用化学气相沉积反应器研制中波红外区强直接带隙发光的GeSn外延薄膜
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Nicholas Rosson; Sudip Acharya; Alec M. Fischer; Bria Collier; Abbas Ali; et al 出版日期：2024-09-01 |
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