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 Nanosmoothing of single crystal diamond chips by 1 keV Ar+ ion bombardment 1keV Ar+离子轰击对单晶金刚石芯片的纳米平滑
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Takashi Nagase; Hiroyuki Kato; S.A. Pahlovy; Iwao Miyamoto 出版日期：2010-03-01 |
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