Effect of Intermolecular Interaction of Compound Surfactant on Particle Removal in Post-Cu CMP Cleaning

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标题	Effect of Intermolecular Interaction of Compound Surfactant on Particle Removal in Post-Cu CMP Cleaning 复合表面活性剂分子间相互作用对铜CMP后清洗中颗粒去除的影响相关领域肺表面活性物质润湿材料科学接触角粒子（生态学）表面张力化学工程 Zeta电位分子间力傅里叶变换红外光谱粒径分子纳米技术复合材料有机化学化学热力学纳米颗粒工程类地质学物理海洋学
网址	求助人暂未提供
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？ AI识别 10.1149/2162-8777/ac08d2 doi
其它	Lijing Qu, Baohong Gao, Xuanshi Wang, Tongxi Wu and Baimei Tan
求助人	ww 在 2025-03-04 16:49:31 发布自天津，悬赏 10 积分
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