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标题
A Study of Ozone as an Oxygen Source for the Growth of High-Κ Dielectric Films for Gate Dielectric on GaN/AlGaN/GaN
臭氧作为氧源生长高阻栅介电膜的研究
相关领域
电介质 材料科学 光电子学 栅极电介质 氧气 臭氧 工程物理 电气工程 化学 晶体管 物理 工程类 电压 有机化学
网址
https://oaktrust.library.tamu.edu/bitstream/1969.1/187341/1/...
DOI
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其它 期刊：
作者：Shuvodip Bhattacharya
出版日期：2016-09-01
求助人
wakao 在 2025-03-20 19:37:17 发布自福建，悬赏 10 积分
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