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标题
Room temperature GaN-GaAs direct bonding by argon-beam surface activation
氩束表面活化室温GaN-GaAs直接键合
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材料科学 溅射 砷化镓 蓝宝石 表面粗糙度 氩 氮化镓 硅 分析化学（期刊） 扫描电子显微镜 氮化硅 直接结合 化学气相沉积 薄脆饼 镓 光电子学 复合材料 薄膜 图层（电子） 冶金 纳米技术 化学 光学 激光器 物理 色谱法 有机化学
网址
https://doi.org/10.1117/12.754402
DOI
10.1117/12.754402 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：Eiji Higurashi; Yuichiro Tokuda; Masatake Akaike; Tadatomo Suga
出版日期：2007-09-07
求助人
NJU_Chanwell 在 2025-03-13 18:08:53 发布自江苏，悬赏 20 积分
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