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标题
Preparation of GaN and AlGaN by pulsed sputtering
脉冲溅射法制备GaN和AlGaN
相关领域
溅射 材料科学 光电子学 宽禁带半导体 氮化镓 工程物理 纳米技术 薄膜 图层（电子） 物理
网址
https://doi.org/10.1117/12.3038934
DOI
10.1117/12.3038934 doi
其它 期刊：
作者：Hiroshi Fujioka; Kohei Ueno
出版日期：2025-03-19
求助人
tonyguo 在 2025-03-28 23:05:06 发布自浙江，悬赏 20 积分
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