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标题
O2 and Ar plasma processing over SiO2/Si stack: Effects of processing gas on interface defect generation and recovery
SiO2/Si堆上O2和Ar等离子体处理:处理气体对界面缺陷产生和恢复的影响
相关领域
堆栈(抽象数据类型) 等离子体处理 等离子体 材料科学 接口(物质) 等离子体化学 材料加工 原子物理学 计算机科学 工艺工程 核物理学 物理 操作系统 工程类 复合材料 毛细管数 毛细管作用
网址
DOI
10.1063/5.0184779 doi
其它 期刊:Journal of Applied Physics
作者:Shota Nunomura; Takayoshi Tsutsumi; Isao Sakata; Masaru Hori
出版日期:2024-02-02
求助人
skyfall 在 2024-03-01 12:19:53 发布自江苏,悬赏 10 积分
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