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Sputtered In2O3 and ITO thin films containing zirconium
溅射含锆In2O3和ITO薄膜
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分压
薄膜
材料科学
锆
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期刊:Journal of Applied Physics 作者:Timothy A. Gessert; Yasuo Yoshida; Christian C. Fesenmaier; T. J. Coutts 出版日期:2009-04-15 |
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