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标题
Sputtered In2O3 and ITO thin films containing zirconium
溅射含锆In2O3和ITO薄膜
相关领域
分压 薄膜 材料科学 介电常数 溅射 德鲁德模型 电介质 氧气 光电子学 X射线光电子能谱 光学透明度 溅射沉积 环境压力 透明度(行为) 纳米技术 化学工程 光学 化学 计算机科学 冶金 物理 有机化学 热力学 计算机安全 工程类
网址
DOI
10.1063/1.3116542 doi
其它 期刊:Journal of Applied Physics
作者:Timothy A. Gessert; Yasuo Yoshida; Christian C. Fesenmaier; T. J. Coutts
出版日期:2009-04-15
求助人
生动茗茗 在 2024-10-21 17:05:55 发布自福建,悬赏 10 积分
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