Development of amorphous silicon based EUV hardmasks through physical vapor deposition

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标题	Development of amorphous silicon based EUV hardmasks through physical vapor deposition 物理气相沉积法研制非晶硅基EUV硬掩模相关领域材料科学极紫外光刻硅物理气相沉积非晶硅化学气相沉积抵抗堆栈（抽象数据类型）光电子学无定形固体纳米技术原子层沉积图层（电子）光刻光刻胶薄膜晶体硅计算机科学化学程序设计语言有机化学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2280607
DOI	10.1117/12.2280607 doi
其它	期刊：作者：Anuja De Silva; Yann Mignot; Luciana Meli; Yongan Xu; Indira Seshadri; et al 出版日期：2017-10-16
求助人	zml 在 2025-02-18 10:33:06 发布自上海，悬赏 20 积分
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