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In situ diagnostics of the Si etching structures profile in ICP SF6/C4F8 plasma: Macrostructures
ICP SF6/C4F8等离子体中Si蚀刻结构分布的原位诊断：宏观结构
网址
https://doi.org/10.1116/6.0002427
DOI
10.1116/6.0002427 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A
作者：Artem Osipov; Alina Gagaeva; Anastasia Speshilova; Armenak Osipov; Yakov Enns; et al
出版日期：2023
求助人
传统的谷丝 在 2025-02-17 16:25:24 发布自北京，悬赏 10 积分
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