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标题
Autocatalytic Deposition of Nickel–Boron Diffusion Barrier onto Diazonium-Treated SiO2 for High Aspect Ratio Through-Silicon Via Technology in 3D Integration
在重氮处理的SiO2上自催化沉积镍-硼扩散阻挡层用于三维集成中的高纵横比硅通孔技术
网址
https://doi.org/10.1021/acsaelm.4c00062
DOI
10.1021/acsaelm.4c00062 doi
其它 期刊：ACS Applied Electronic Materials
作者：Gul Zeb; Tien Dat Nguyen; Thi Phuong Ly Giang; Xuan Tuan Le
出版日期：2024
求助人
Salvator 在 2025-02-17 08:07:44 发布自浙江，悬赏 10 积分
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