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Study of surface morphology in GaAs by hydrogen and helium implantation at elevated temperature
高温氢氦注入GaAs表面形貌的研究
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期刊:Journal of Semiconductors 作者:Rui Huang; Zhiyong Wang; Hui Li; Qing Wang; Yecai Guo 出版日期:2023-05-01 |
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