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 Nonlinear Dynamics of MEMS Arches Under Harmonic Electrostatic Actuation 谐波静电驱动下MEMS拱的非线性动力学
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非线性系统
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期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：Mohammad I. Younis; Hassen M. Ouakad; Fadi Alsaleem; Ronald N. Miles; Weili Cui 出版日期：2010-05-10 |
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