Ultrahigh purity plasma-enhanced atomic layer deposition and electrical properties of epitaxial scandium nitride

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标题	Ultrahigh purity plasma-enhanced atomic layer deposition and electrical properties of epitaxial scandium nitride 超高纯等离子体增强原子层沉积及外延氮化钪的电学性能相关领域材料科学原子层沉积钪氮化物等离子体外延图层（电子）原子层外延光电子学沉积（地质）纳米技术化学工程冶金古生物学物理量子力学沉积物工程类生物
网址	https://doi.org/10.1116/6.0004180
DOI	10.1116/6.0004180 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：G. B. Rayner; Noel O’Toole; Bangzhi Liu; Jeffrey R. Shallenberger; Jiadi Zhu; et al 出版日期：2025-01-08
求助人	陈斌在 2025-02-13 10:56:55 发布自福建，悬赏 10 积分
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