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Microstructure and residual stress of magnetron sputtered nanocrystalline palladium and palladium gold films on polymer substrates
聚合物基底上磁控溅射纳米晶钯和钯金薄膜的微观结构和残余应力
相关领域
纳米晶材料
材料科学
残余应力
微观结构
复合材料
溅射沉积
X射线光电子能谱
等轴晶
钯
极限抗拉强度
透射电子显微镜
腔磁控管
溅射
冶金
薄膜
化学工程
纳米技术
化学
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催化作用
生物化学
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者:Anna Castrup; Christian Kübel; Torsten Scherer; Horst Hahn 出版日期:2011-02-09 |
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