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 Influences of defects evolvement on the properties of sputtering deposited ZnO:Al films upon hydrogen annealing 氢退火时缺陷演化对溅射沉积ZnO：Al薄膜性能的影响
相关领域
退火（玻璃）
材料科学
氢
溅射沉积
电阻率和电导率
溅射
分析化学（期刊）
透射率
薄膜
冶金
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化学
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电气工程
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期刊：AIP Advances 作者：Shiliu Yin; Mandar M. Shirolkar; Jieni Li; Ming Li; Xiao Song; et al 出版日期：2016-06-01 |
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