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 Mo nitrides and carbonitrides via metallic phase transition of MoO3 films using ammonium salt precursors in chemical vapor deposition 化学气相沉积中铵盐前驱体MoO3薄膜的金属相变制备Mo氮化物和碳氮化物
相关领域
材料科学
氮化物
化学气相沉积
无机化学
无定形固体
碳化物
过渡金属
氮化铌
渗氮
化学工程
催化作用
冶金
纳米技术
图层（电子）
化学
有机化学
工程类
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