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标题
Microstructure and adsorption characteristics of Zr–Co–RE getter films deposited using krypton as sputtering gas
以氪为溅射气体沉积Zr-Co-RE吸气剂薄膜的微观结构和吸附特性
相关领域
溅射 吸气剂 材料科学 微观结构 溅射沉积 吸附 分析化学(期刊) 薄膜 复合材料 光电子学 氙气 纳米技术 原子物理学 化学 物理 有机化学 色谱法
网址
DOI
10.1063/5.0152974 doi
其它 期刊:AIP Advances
作者:Chao Zhou; Detian Li; Yanchun He; Zhanji Ma; Lamaocao Yang
出版日期:2023-05-01
求助人
平常念双 在 2025-04-02 21:23:58 发布,悬赏 10 积分
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