Enabling non-actinic EUV mask inspection using carbon nanotube pellicle

已完结

文献求助详情

标题	Enabling non-actinic EUV mask inspection using carbon nanotube pellicle 使用碳纳米管薄膜实现非光化EUV掩模检查相关领域极紫外光刻十字线光掩模极端紫外线平版印刷术材料科学光学薄脆饼光刻抵抗光电子学碳纳米管多重图案吸收（声学）纳米技术激光器物理复合材料图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.2584695
DOI	10.1117/12.2584695 doi
其它	期刊：作者：Mor Keshet; Dor Gershon; Uriel Malul; Yaniv Blinder; Yonatan Orr; et al 出版日期：2021-03-05
求助人	nsy 在 2024-09-04 15:47:46 发布自江苏，悬赏 20 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，让科研之路畅通无阻

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: kento的应助被科研通管家采纳，获得100

1秒前; Owen的应助被科研通管家采纳，获得10

1秒前; 情怀的应助被科研通管家采纳，获得10

1秒前; 丘比特的应助被科研通管家采纳，获得10

2秒前; 墨墨发布了新的文献求助10

3秒前; tangt糖糖完成签到，获得积分10

3秒前; 左丘冥完成签到，获得积分10

4秒前; 答案。完成签到，获得积分10

4秒前; 8R60d8上传了应助文件

4秒前; Tonnyjing的应助被yyyyyyy采纳，获得10

5秒前; 慕青上传了应助文件

5秒前; 路人丨安完成签到，获得积分10

6秒前; goodesBright的应助被令莞采纳，获得10

6秒前; 小二郎上传了应助文件

6秒前; 烟花上传了应助文件

7秒前; rong上传了应助文件

8秒前; 田様的应助被左丘冥采纳，获得10

8秒前; 隐形曼青上传了应助文件

9秒前; 93发布了新的文献求助10

11秒前; xumodehudie完成签到，获得积分10

12秒前; 开朗的之瑶发布了新的文献求助10

13秒前; 尛瞐慶成发布了新的文献求助10

14秒前; hj发布了新的文献求助10

15秒前; 偶吼吼完成签到，获得积分10

15秒前; 坚强亦丝上传了应助文件

16秒前; 激昂的沛柔发布了新的文献求助10

16秒前; fifteen发布了新的文献求助10

16秒前; LSX完成签到，获得积分10

17秒前; 内向的小凡完成签到，获得积分10

17秒前; yy完成签到，获得积分20

18秒前; 8R60d8上传了应助文件

19秒前; 深情安青上传了应助文件

19秒前; 重景完成签到，获得积分10

19秒前; Stove完成签到，获得积分10

20秒前; 研友_VZG7GZ的应助被乐求知采纳，获得10

20秒前; 哦吼完成签到，获得积分10

23秒前; FashionBoy的应助被不当脆脆鲨采纳，获得10

23秒前; 刻苦的芝完成签到，获得积分10

24秒前; FashionBoy上传了应助文件

24秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

25秒前