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 Atmospheric Pressure Alkaline Etching of MFI Zeolite Under Mild Temperature Toward Hollow Microstructure and Ultralow k Film MFI沸石微温常压碱刻蚀中空微结构和超低k膜
相关领域
微观结构
沸石
材料科学
蚀刻（微加工）
大气压力
复合材料
化学工程
化学
气象学
有机化学
催化作用
图层（电子）
工程类
物理
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期刊：Small methods 作者：Kaipeng Zhang; Ruilan Xu; Rui Wang; Jian Cai; Xianfu Lin; et al 出版日期：2024-06-21 |
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