Roles of SiH3and SiH2Radicals in Particle Growth in rf Silane Plasmas

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标题	Roles of SiH3and SiH2Radicals in Particle Growth in rf Silane Plasmas SiH3和SiH2自由基在射频硅烷等离子体粒子生长中的作用相关领域激进的成核硅烷化学粒子（生态学）分析化学（期刊）等离子体光化学有机化学海洋学物理量子力学地质学
网址	https://doi.org/10.1143/jjap.36.4985
DOI	10.1143/jjap.36.4985 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Hiroharu Kawasaki; Hiroshi Ohkura; Tsuyoshi Fukuzawa; Masaharu Shiratani; Yukio Watanabe; et al 出版日期：1997-07-01
求助人	vsoar 在 2024-08-08 08:32:55 发布自四川，悬赏 10 积分
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