标题 |
Sputter-deposited aluminium oxide as a waveguide platform for UV photonics
溅射沉积氧化铝作为紫外光学波导平台
相关领域
光子学
溅射
材料科学
铝
光电子学
氧化铝
波导管
氧化物
纳米技术
复合材料
冶金
薄膜
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期刊: 作者:Dawson B. Bonneville; Ward A. P. M. Hendriks; Soheila Mardani; Nadia Chahir; Bjorn Jongebloed; et al 出版日期:2024-03-13 |
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