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 Indirect stress and air-cavity displacement measurement of MEMS tunable VCSELs via micro-Raman and micro-photoluminescence spectroscopy 利用显微拉曼和显微光致发光光谱间接测量MEMS可调谐VCSELs的应力和气腔位移
相关领域
微电子机械系统
材料科学
拉曼光谱
光电子学
光致发光
多物理
光谱学
垂直腔面发射激光器
残余应力
光学
光学腔
激光器
有限元法
复合材料
物理
热力学
量子力学
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期刊：Semiconductor science and technology 作者：Philippe Martin Tingzon; Horace Andrew Husay; Neil Irvin Cabello; John Jairus Eslit; Kevin Cook; et al 出版日期：2022-01-28 |
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