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标题
Progress and future directions for atomic layer deposition and ALD-based chemistry
原子层沉积和ALD基化学的进展和未来方向
相关领域
原子层沉积 纳米技术 沉积（地质） 图层（电子） 材料科学 工程物理 化学 化学工程 物理 工程类 地质学 古生物学 沉积物
网址
https://doi.org/10.1557/mrs.2011.238
DOI
10.1557/mrs.2011.238 doi
其它 期刊：Mrs Bulletin
作者：Gregory N. Parsons; Steven Z. George; Mato Knez
出版日期：2011-11-01
求助人
double bubble 在 2024-08-17 02:55:40 发布自湖北，悬赏 10 积分
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