Low temperature Au-Au surface-activated bonding using nitrogen atmospheric-pressure plasma treatment for optical microsystems

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标题	Low temperature Au-Au surface-activated bonding using nitrogen atmospheric-pressure plasma treatment for optical microsystems 光学微系统用氮大气压等离子体处理低温Au-Au表面活化键合相关领域 X射线光电子能谱分析化学（期刊）立体化学化学物理有机化学核磁共振
网址	https://doi.org/10.1109/icep-iaac.2015.7111132
DOI	10.1109/icep-iaac.2015.7111132 doi
其它	期刊：作者：Seiya Matsuoka; Michitaka Yamamoto; Eiji Higurashi; Tadatomo Suga; Renshi Sawada 出版日期：2015-04-01
求助人	hahahah 在 2025-12-11 13:40:22 发布自广东，悬赏 10 积分
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