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 Tailoring surface chemistry and morphology of titanium nitride electrode for on-chip supercapacitors 片上超级电容器氮化钛电极的表面化学与形貌
相关领域
材料科学
氮化钛
超级电容器
小型化
锡
溅射
电容
电极
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钛
光电子学
薄膜
氮化物
冶金
图层（电子）
化学
物理化学
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