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标题
Recent Advances In Silicon Carbide Chemical Mechanical Polishing Technologies
碳化硅化学机械抛光技术的新进展
相关领域
化学机械平面化 薄脆饼 材料科学 磨料 碳化硅 抛光 泥浆 钻石 复合材料 纳米技术
网址
https://www.mdpi.com/2072-666X/13/10/1752/pdf?version=166591...
DOI
10.3390/mi13101752 doi
其它 期刊：Micromachines
作者：Chi-Hsiang Hsieh; Che‐Yuan Chang; Yi-Kai Hsiao; Chao‐Chang A. Chen; Chang-Ching Tu; et al
出版日期：2022-10-16
求助人
跳舞的池子 在 2024-01-09 23:24:09 发布自天津，悬赏 10 积分
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