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Analysis of the Basal Plane Dislocation Density and Thermomechanical Stress during 100 mm PVT Growth of 4H-SiC
100mm PVT生长4H-SiC基面位错密度及热力分析
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期刊:Materials 作者:Johannes Steiner; Melissa Roder; Binh Duong Nguyen; Stefan Sandfeld; A.N. Danilewsky; et al 出版日期:2019-07-09 |
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