标题 |
Experimental study of current density in copper filling process within deep through-silicon vias with high aspect ratio
高纵横比深硅通孔铜充填过程中电流密度的实验研究
相关领域
硅
纵横比(航空)
材料科学
铜
电流(流体)
光电子学
过程(计算)
电流密度
工程物理
电气工程
冶金
工程类
计算机科学
物理
量子力学
操作系统
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