Synthesis of ZrO2 thin films by atomic layer deposition: growth kinetics, structural and electrical properties

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标题	Synthesis of ZrO2 thin films by atomic layer deposition: growth kinetics, structural and electrical properties 原子层沉积法合成ZrO2薄膜：生长动力学、结构和电学性质相关领域四方晶系原子层沉积单斜晶系材料科学薄膜动力学介电谱图层（电子）化学工程分析化学（期刊）沉积（地质）单层矿物学结晶学纳米技术化学晶体结构物理化学电极电化学古生物学物理量子力学色谱法沉积物工程类生物
网址	https://doi.org/10.1016/s0169-4332(02)00247-7
DOI	10.1016/s0169-4332(02)00247-7 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：M. Cassir; Fabrice Goubin; Cécile Bernay; P. Vernoux; Daniel Lincot 出版日期：2002-06-01
求助人	定仙游在 2024-12-19 10:34:20 发布自江苏，悬赏 10 积分
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