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标题
The preliminary study of etching characteristics of atmospheric pressure trifluoromethane plasma jet etching
常压三氟甲烷等离子体射流刻蚀特性的初步研究
相关领域
蚀刻(微加工) 大气压等离子体 喷射(流体) 材料科学 大气压力 等离子体刻蚀 等离子体 反应离子刻蚀 复合材料 物理 气象学 机械 核物理学 图层(电子)
网址
DOI
10.35848/1347-4065/ad82c5 doi
其它 期刊:Japanese Journal of Applied Physics
作者:Yu-Ching Sung; Wenlin Yang; Chun Huang
出版日期:2024-10-02
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复杂的小翠 在 2024-11-13 14:46:18 发布自陕西,悬赏 10 积分
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