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 Review Article: Tracing the recorded history of thin-film sputter deposition: From the 1800s to 2017 综述文章：追溯薄膜溅射沉积的记录历史：从1800年代到2017年
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：J. E. Greene 出版日期：2017-09-01 |
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