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 How microalloying of the Al target can improve process and film characteristics of sputtered alumina 铝靶的微合金化如何改善溅射氧化铝的工艺和薄膜特性
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期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Bernhard Kohlhauser; H. Riedl; Christian Koller; V. Paneta; S. Kolozsvári; et al 出版日期：2020-04-13 |
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