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Two-step growth of β-Ga2O3 films on (100) diamond via low pressure chemical vapor deposition
低压化学气相沉积在(100)金刚石上两步生长β-Ga2O3薄膜
相关领域
化学气相沉积
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期刊:Journal of vacuum science & technology 作者:Rezaul Karim; Zhaoying Chen; Zixuan Feng; Hsien‐Lien Huang; Jared M. Johnson; et al 出版日期:2021-02-16 |
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