Preparation and characterization of slurry for CMP - 科研通

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标题	书籍（章节） Preparation and characterization of slurry for CMP CMP用浆料的制备与表征相关领域泥浆表征（材料科学）化学机械平面化材料科学薄脆饼磨料刮擦冶金粒子（生态学）工艺工程复合材料纳米技术工程类抛光海洋学地质学
网址	https://doi.org/10.1016/b978-0-12-821791-7.00005-8
DOI	10.1016/b978-0-12-821791-7.00005-8 doi
其它	期刊：Elsevier eBooks 作者：Kangchun Lee; Jihoon Seo; Ungyu Paik 出版日期：2021-09-17
求助人	沈慧在 2024-12-14 14:52:32 发布自内蒙古，悬赏 30 积分
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