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 Various evolution trends of sample thickness in fluorocarbon film deposition on SiO2 SiO2上沉积氟碳膜时样品厚度的各种演变趋势
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Youngseok Lee; In-ho Seong; Jang Gyu Lee; Sang-Ho Lee; Chulhee Cho; et al 出版日期：2022-01-01 |
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